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等離子系列 專業的品牌服務,為您創造更高的價值

VP-10D全自動等離子清洗機

產品介紹: 集成電路封裝,引線框架/基板清洗,Wire / Die Bonding、 EMC封裝前后處理
面料:
型號: VP-10D
應用: 集成電路封裝,引線框架/基板清洗,Wire / Die Bonding、 EMC封裝前后處理
咨詢熱線: 400-660-7690轉1

產品介紹:

等離子系列產品

VP-10D全新全自動等離子清洗機


關鍵應用

  • 在半導體封裝基板和引線框架上進行打線鍵合前的等離子體處理

  • 封裝芯片上的預填充前的等離子體處理

  • 半導體封裝基板和引線的模前等離子體處理

  • 等離子體處理半導體封裝基板和引線框架,以改善附著力

  • 去除/還原引線上的氧化層

  • 業界領先的產能和可靠性;

  • 基于安達的專利等離子體技術;

  • VP-10D是我們最新的全自動等離子體系統,包含一個高容量工藝室,提供高均勻性和高生產能力.


設備優勢

  • 1、設備尺寸占地面積小。

  • 2、設備系統支持多個版本(PLC/PC),支持主流多種通訊協議。

  • 3、設備依SEMI安全生產標準設計生產。

  • 4、4通道設計產能高,UPH 350~450pcs。

  • 5、適用上百種產品尺寸及彈夾。

  • 6、下電級模塊設計更換只需10S,維護保養、切換不同尺寸產品非常簡單。

  • 7、MFC 晶圓級專利設計,防止氣體泄漏引發安全事故(可使用氫氣等高危氣體)。

  • 8、腔體高密封專利設計 最高可達 5pa 以內

  • 9、水滴角<10°(與清潔表面材質相關)。





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功能配置技術參數
設備尺寸寬x長x高1020L*1380W*1865H
凈重400KG
設備周邊間隙后面800mm,兩側500mm
腔體容積工藝腔體容積8.5L
適應產品尺寸寬度50-100mm / 長度150-300mm
電極電極尺寸上:320*500mm  下:320*520mm
射頻電源標準功率1KW
頻率13.56MHz
氣體控制最多支持三路標配2路,可以選配3路
控制系統人機界面PLC觸摸屏 / PC控制
遠程接口通訊選配
真空泵可選干泵90CFM
可選油泵195CFM
可選帶吹掃功能干泵YES
氮氣吹掃流量2SLM
廠務設施電源AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 7KW (干泵)
工藝氣體管路尺寸&類型1/4inch Swagelok
工藝氣體純度工業級及以上
工藝氣體壓力10-20 psig
吹掃氣體管路尺寸&類型1/4inch Swagelok
吹掃氣體純度工業級及以上
吹掃氣體壓力15psig
氣動閥門管路尺寸&類型10 mm push-in fitting
氣動氣體純度壓縮空氣,無油,露點<=7"C,顆粒<5
氣動氣體壓力70-90psig
壓縮空氣排氣管路10mm
合規認證SEMI
輔助設備氮氣發生器(可選)有氮氣吹掃功能需求時選配
冷水機(可選)配置冷卻功能電極時選配
氫氣工具包(可選)使用氫氣進行處理時選配
尾氣處理機(可選)含氟氣體處理時的尾氣處理選配
運輸總重量460KG
包裝件數1
包裝符合SPM15標準            YES


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