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產品中心 推動智能制造產業升級，做世界一流的智能裝備

VP-60/80系列等離子清洗機

產品特點:

真空腔體采用鋁合金制作而成。

超低溫：溫度低至40度

全方位表面清洗：異向等離子體可以進入超細狹縫清洗

環保：處理前后無有害物質產生，遠離有害溶劑對人體的傷害

穩定：連續性和恒定性來維持機器設備運行時的穩定性

清洗:去除灰塵和油污，精細清洗和去靜電

活化：提高表面的附著能力，物體表面能大幅增加

褪鍍：AF/AS 層褪鍍

技術規格:
功能配置技術參數
型 號VP-60LVP-80LVP-100LVP-150L
外型尺寸 (mm)L=1200 W=920 H=1690
真空腔內尺寸 (mm)L=403 W=400 H=403L=450 W=400 H=450L=470 W=460 H=470L=500 W=600 H=500
真空腔材質不銹鋼
電極板尺寸 (mm) 319（L）×374（W）320（L）×420（W）380（L）×440（W）520（L）×470（W）
電極板材質專用鋁電極
重 量560KG580KG630KG680KG
控 制PLC+ 觸摸屏
電極板結構水平 8 層
真空泵系統兩級油旋片真空泵、羅茨真空泵組
真空測定系統皮拉尼電阻真空計
氣體測量系統高精密質量流量計
等離子發生器高精密 0-500W 等離子發生器高精密 0-1000W 等離子發 生器
等離子匹配器高精密 0-500W 自動匹配器高精密 0-1000W 自動匹配 器
工作真空度10-100 Pa
真空泵極限壓力5×10-1 Pa
抽真空時間≤ 55S≤ 70S≤ 80S≤ 100S
破真空時間≤ 15S≤ 20S ≤ 25S≤ 30S
氣體控制范圍質量流量 0-300SCCM （可自選）質量流量 0-500SCCM( 可 自選 )
射頻電源0-500W（范圍內可調）0-1000W（范圍內可調）
操作模式人工取放，一鍵全自動操作
電 源三相 380V
總功率 4 KW4.5 KW
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