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產品中心 推動智能制造產業升級，做世界一流的智能裝備

VP-10S全自動真空等離子清洗機（有待料區）

產品特點:

設備系統支持多個版本(PLC/PC)，支持主流多種通訊協議； 

設備依SEMI安全生產標準設計生產； 

通道設計產能高，UPH400~550pcs； 

適用多種產品尺寸及彈夾；

MFC晶圓級專利設計，防止氣體泄漏引發安全事故(可使用氫氣等高危氣體）； 

腔體高密封專利設計最高可達 5pa以內； 

水滴角<10°(與清潔表面材質相關)； 

四通道設計，同時處理4個產品，配置雙下電極，節省進出板時間，效率大幅提升，保證處理產品均性。

技術規格:
功能配置技術參數
設備尺寸長X寬X高(mm)L1600 xW1150 XH1700
凈重(kg)1000 
設備周邊間隙(mm)后面600,兩邊600
腔體容積(L)約9
通道(條)4 
下電極(塊)2(待料功能)
上料方式彈夾
適應產品尺寸(mm)寬度：40-100長度：150-300
電極電極尺寸(mm)528×300
射頻電源標準功率(kW)1 
頻率(MHz)13.56 
氣體控制最多支持三路標配2路，可選配3路
控制系統人機界面PC+觸摸顯示屏
遠程接口通訊選配
真空泵可選干泵17CFM
可選油泵195CFM
可選帶吹掃功能干泵YES
氮氣吹掃流量(SLM)2 
抽真空時間(S)10-15
破真空時間(S)3-4
廠務設施電源三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵)
工藝氣體管路尺寸&類型1/4inch Swagelok
工藝氣體純度工業級及以上
工藝氣體壓力(psig)10-20
吹掃氣體管路尺寸&類型1/4inch Swagelok
吹掃氣體純度工業級及以上
吹掃氣體壓力(psig)15 
氣動閥門管路尺寸&類型10mm push-in fitting
氣動氣體純度壓縮空氣，無油，露點≤7℃,顆粒<5
氣動氣體壓力(psig)70-90
壓縮空氣排氣管路(mm)中8
合規認證SEMI
輔助設備氮氣發生器(可選)有氮氣吹掃功能需求時選配
水冷機(可選)配置冷卻功能電極時選配
氫氣工具包(可選)使用氫氣進行處理時選配
尾氣處理機(可選)含氟氣體處理時的尾氣處理選配
運輸總重量(kg)1050 
包裝件數1 
包裝符合SPM15標準YES
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