Plasma產(chǎn)生原理

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在， 如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。

自然等離子體（如北極光，星云，太陽核，閃電）

人造等離子體（如電虹燈，火焰噴射器，日光燈，半導(dǎo)體制程 的濺渡，半導(dǎo)體制程的干蝕刻，半導(dǎo)體封裝制程的電漿清洗）

物質(zhì)四種形態(tài) ： 固體 、 液體 、 氣體 、 電漿

人工等離子的產(chǎn)生：Plasma的產(chǎn)生是利用直流，交流，射頻或微波能源的方式，在適當(dāng)?shù)牡蛪籂顟B(tài)（約100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密閉空間通以電源（12ev)，將通入密閉空間之氣體離子化，產(chǎn)生氣態(tài)之粒子；利用離子化之粒子及借由極板所提供之電場(chǎng)， 加速粒子間之撞擊作用，而經(jīng)由撞擊產(chǎn)生之二次電子與通入密閉空間之氣態(tài)粒子，尤其是不帶電荷的氣體分子及原子團(tuán)再次發(fā)生撞擊。在撞擊之間便產(chǎn)生了電漿及火光, 而經(jīng)由撞擊之電子與粒子相結(jié)合而變成原子團(tuán)。

等離子體組成：等離子體，即是包含離子電子與中性粒子或部分游離的氣體。里面的組成由各種帶電荷的電子，離子(Ion)及不帶電的激發(fā) 態(tài)分子和原子團(tuán)(Radicals) 、自由基、紫外線等。